Abbildung 5
Zur Vakuumerzeugung wird ein zweistufiges System, bestehend aus Vorpumpe und Turbovakuumpumpe, benutzt. Das erreichte Vakuum ist kleiner als 0,001 mbar.Abb. 6
Abb. 4
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Abbildung 5Zur Vakuumerzeugung wird ein zweistufiges System, bestehend aus Vorpumpe und Turbovakuumpumpe, benutzt. Das erreichte Vakuum ist kleiner als 0,001 mbar.Abb. 6 Abb. 4 Diaschau schließen |